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光刻机十年成果汇报活动举行

2012-04-08 来源：解放牛网

晚报讯昨天，光刻机十年成果汇报暨上海微电子装备有限公司十年回顾活动在沪举行。十年前，国家科技部“十五”重大科技专项100nm高端光刻机的研制任务落户上海，上海微电子装备有限公司（简称SMEE）肩负起为我国 ... （阅读全文）

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