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上海光刻机打破国外垄断

2012-04-08 来源：解放牛网

本报讯（记者章迪思）昨天，光刻机十年成果汇报暨上海微电子装备有限公司十年回顾活动在沪举行。上海微电子装备有限公司现已成为世界上继欧洲和日本3家光刻机公司之后，第4家掌握高端光刻机系统设计与系统集成 ... （阅读全文）

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