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晶硅太阳能电池表面钝化技术获新进展

2012-07-06 来源：和讯网

本报讯（记者沈春蕾）原子层沉积技术是一种有序的气相薄膜生长技术，具有良好的保形性、均匀性和高的台阶覆盖率。通过原子层沉积氧化铝薄膜对硅片表面进行钝化，可以大幅度提高太阳能电池效率，被业界普遍认为是 ... （阅读全文）

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